日本三菱精密气压控制主动隔振器 MRZ系列-日本三菱精密

产地类别 进口    

我们实现了FPD制造设备等大型设备的主动隔振器价格低廉。
MAPS系列具有许多交付结果。其中,我们开发并投入实际使用MRZ系列,通过从一开始就审查设计实现了性价比的提高,同时保持了特别要求的MAPS-130,240的性能
日本三菱精密气压控制主动隔振器 MRZ系列

气压控制主动隔振器MRZ系列

我们实现了FPD制造设备等大型设备的主动隔振器价格低廉。

MAPS系列具有许多交付结果。其中,我们开发并投入实际使用MRZ系列,通过从一开始就审查设计实现了性价比的提高,同时保持了特别要求的MAPS-130,240的性能。

  • 活跃

应用领域

  • 测量和称重设备
  • 半导体制造/精密加工

日本三菱精密气压控制主动隔振器 MRZ系列-日本三菱精密

日本三菱精密气压控制主动隔振器 MRZ系列-日本三菱精密

  • 单位类型
  • 日本三菱精密气压控制主动隔振器 MRZ系列
  • 日本三菱精密气压控制主动隔振器 MRZ系列

概述/功能

主要应用

FPD /半导体制造设备,电子显微镜/真空相关设备,测量设备,超精密加工机等

6自由度主动控制

还消除了 包含垂直和水平气动致动器的单元型被动隔振中难以振动的带。

FB + Floor FF控制在活动状态下执行

FB:反馈控制系统
FloorFF:地面振动前馈控制系统
StageFF:阶段前馈控制系统(可选)

“重量轻,结构紧凑”“低功耗”“低价”

我们实现了轻巧紧凑的单元,降低了功耗,降低了价格。

号5457821

日本三菱精密气压控制主动隔振器 MRZ系列-日本三菱精密

规范

  • 主要规格
类型/类型 MRZ-330 MRZ-520
可安装质量[kg](使用4个单位时) 4,000到12,800 10,000至32,000
飞机尺寸W×D×H [mm] 504×404×191 694 x 594 x 191
单位质量[kg / piece] 60 110
供气压力[MPa] 0.6至0.8(清洁干燥空气)
固定空气消耗[l / min] 120至170
耗气量[l / min] 300
 电源电压[V] 100至240(AC单相,50/60 Hz)
功耗[VA] 120
环境温度[℃] 0到40
环境湿度[%RH] 35-85
隔振/减震系统 通过气动控制进行振动控制
控制器尺寸W×D×H [mm] 435 x 300 x 118
控制器质量[kg] 7.5